Rapid Thermal Processing
Science and Technology
-
10% KEDVEZMÉNY?
- A kedvezmény csak az 'Értesítés a kedvenc témákról' hírlevelünk címzettjeinek rendeléseire érvényes.
- Kiadói listaár EUR 54.95
-
22 790 Ft (21 705 Ft + 5% áfa)
Az ár azért becsült, mert a rendelés pillanatában nem lehet pontosan tudni, hogy a beérkezéskor milyen lesz a forint árfolyama az adott termék eredeti devizájához képest. Ha a forint romlana, kissé többet, ha javulna, kissé kevesebbet kell majd fizetnie.
- Kedvezmény(ek) 10% (cc. 2 279 Ft off)
- Kedvezményes ár 20 511 Ft (19 535 Ft + 5% áfa)
Iratkozzon fel most és részesüljön kedvezőbb árainkból!
Feliratkozom
22 790 Ft
Beszerezhetőség
A kiadónál véglegesen elfogyott, nem rendelhető. Érdemes újra keresni a címmel, hátha van újabb kiadás.
Why don't you give exact delivery time?
A beszerzés időigényét az eddigi tapasztalatokra alapozva adjuk meg. Azért becsült, mert a terméket külföldről hozzuk be, így a kiadó kiszolgálásának pillanatnyi gyorsaságától is függ. A megadottnál gyorsabb és lassabb szállítás is elképzelhető, de mindent megteszünk, hogy Ön a lehető leghamarabb jusson hozzá a termékhez.
A termék adatai:
- Kiadó Elsevier Science
- Megjelenés dátuma 1993. június 7.
- ISBN 9780122476907
- Kötéstípus Keménykötés
- Terjedelem430 oldal
- Méret 229x152 mm
- Súly 770 g
- Nyelv angol 0
Kategóriák
Hosszú leírás:
This is the first definitive book on rapid thermal processing (RTP), an essential namufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. Written and edited by nine experts in the field, this book covers a range of topics for academics and engineers alike, moving from basic theory to advanced technology for wafer manufacturing. The book also provides new information on the suitability or RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy, and in situ processing. Complete discussions on equipment designs and comparisons between RTP and other processing approaches also make this book useful for supplemental information on silicon processing, VLSI processing, and integrated circuit engineering.
TöbbTartalomjegyzék:
1. Rapid Thermal Processing - A Justification
2. Rapid Thermal Processing - Based Epitaxy
3. Rapid Thermal Growth and Processing of Dielectrics
4. Thin-Films Deposition
5. Extended Defects from Ion Implantation and Annealing
6. Junction Formation in Silicon by Rapid Thermal Annealing
7. Silicides
8. Issues in Manufacturing Unique Silicon Devices Using Rapid Thermal Annealing
9. Manufacturing Equipment Issues in Rapid Thermal Processing
Index
